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产品简介
PFA方盘模具340*240*45mm耐腐蚀低本底污染产品基本信息产品名称:PFA方盘/托盘材质:Teflon、PFA尺寸:400*300mm 340*240mm货号:RNKW-PFATP
产品分类
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2022-10-13
2022-09-20| 品牌 | 南京瑞尼克 | 货号 | RNKW-FP400*300 |
|---|---|---|---|
| 规格 | 400*300mm 340*240mm | 供货周期 | 现货 |
| 主要用途 | 实验室腐蚀性样品的转移和搬运 | 应用领域 | 环保,化工,生物产业,能源,制药/生物制药 |
| 材质 | PFA透明聚四氟乙烯 | 耐腐蚀性 | 耐强酸强碱 |
| 光洁度 | 一体成型无残留,表面光滑平整 | 本底值 | 金属离子溶出析出低,不易污染 |
PFA方盘模具340*240*45mm耐腐蚀低本底污染
产品基本信息
产品名称:PFA方盘/托盘
材质:Teflon、PFA
尺寸:400*300mm 340*240mm
货号:RNKW-PFATP
PFA托盘是一种使用PFA(可熔性聚四氟乙烯) 材料制成的高性能工业托盘、载具或容器。PFA是一种透明的、全氟化的氟聚合物塑料,以其优异的化学惰性、超高纯度和出色的耐高温性而闻名。
材质特性
几乎能抵抗所有强酸、强碱、强氧化剂和有机溶剂(如王水、HF、浓硫酸等)的腐蚀。
超高纯度与低析出:
材料本身纯净,在超纯化学药液(如半导体级酸、碱、溶剂)中浸泡时,离子和金属杂质析出量极低,不会污染工艺液体或晶圆。这是其在半导体制造中不能少的原因。
出色的耐热性:
连续使用温度范围广(-196°C 至 +260°C),短时间内可承受更高温度。适用于高温清洗(如热硫酸清洗)和工艺环境。
表面光滑如“特氟龙",不粘附物料,易于清洁,能防止产品粘连。
相比PTFE(聚四氟乙烯,特氟龙),PFA具有更好的抗蠕变性和韧性。通常是半透明或透明的,便于观察内部物体或液位。
主要应用领域
半导体制造业(最主要市场):
湿法工艺:用于在清洗、蚀刻、显影等槽体中承载和传输硅片(晶圆)。常见的如 FOUP/FOSB 内胆托盘、花篮、卡匣等。
化学品储存与输送:用于盛放、分配超高纯度的化学液体。
光伏产业:
在太阳能电池片制造过程中,用于制绒、蚀刻、清洗等湿法工艺,承载硅片。
化工与制药行业:
用于处理高纯度、高腐蚀性的化学试剂和药品中间体。作为实验器皿、反应容器或输送托盘。
常见类型与设计
晶圆托盘: 有25片、50片等容量,设计有精确的卡槽,用于固定不同尺寸(如8英寸、12英寸)的晶圆。
花篮/卡匣: 用于将晶圆从一个工艺槽移动到另一个工艺槽的标准载体。
方形/矩形托盘: 用于盛放化学品、零部件或作为工作盘。
定制化设计: 可根据客户的具体需求,在尺寸、形状、开孔、加强筋等方面进行定制,以优化液体交换、减少滞留或增加强度。
PFA方盘模具340*240*45mm耐腐蚀低本底污染



