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光伏电子特气实验用PFA多级反应瓶:高纯电子级气体串联吸收瓶

更新时间:2025-05-12点击次数:29

品名:PFA吸收瓶
规格:60ml
货号:RNKW-PFAXSP-60ml
盖子上螺帽连接管尺寸1/4英寸,支持定制加工

电子特气是一类高纯度,具有特殊化学性质的气体,专门用于半导体,集成电路,显示面板,LED,光伏等电子工业的生产过程中。这些气体通常需要达到的纯度标准,如99.999%(5N)或更高,以确保电子器件的性能和可靠性。

电子特气(电子特种气体)在半导体制造中至关重要,其纯度直接影响芯片的性能和良率。PFA(可溶性聚四氟乙烯)吸收瓶因其优异的化学稳定性、耐腐蚀性和低本底值,成为电子特气纯化(如鼓泡法)的关键设备。以下是PFA吸收瓶在电子特气领域的应用及特点:

1. PFA吸收瓶的作用

PFA吸收瓶主要用于电子特气的纯化,通过鼓泡法(吸收法)去除气体中的金属杂质、水分和其他污染物。其工作原理是让不纯气体通过装有特定吸收液的PFA瓶,杂质被液体吸附或发生化学反应,从而提高气体纯度

2. 主要应用场景

半导体制造:用于晶圆生产中的CVD(化学气相沉积)、刻蚀、掺杂等环节的特气纯化

光伏与锂电行业:高纯气体处理,确保材料纯度

金属杂质分析:如氢气中的金属检测,采用多级PFA吸收瓶串联

PFA吸收瓶的核心优势

耐腐蚀性:可耐受强酸(如氢氟酸、王水)、强碱及有机溶剂

高纯度:金属杂质含量极低(铅、铀<0.01ppb),避免污染气体

耐温范围广:-200℃至260℃,适用于实验条件

透明可视:半透明材质便于观察反应过程

可定制化:支持不同尺寸(60ml~3000ml)、连接方式(1/4"、3/8"管路)及多级串联设计


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